濃度管理系統(DCS)
DCS

系統概要

  • 監測C/D Tools內的顯影液Cir Tank中之顯影液及光阻濃度
  • 以製程濃度新液控制光阻濃度
  • 以高濃度新液控制顯影液濃度
  • 減少顯影液使用量；延長使用壽命

適用：光電產業TMAH, KOH, NAOH
1對多光阻去除輸送系統(DRS/PRSS)
DRS/PRSS

系統概要

  • 來自C/D混有光阻劑的TMAH於PRSS(膜分離)去除光阻回收再生
  • 光阻濃度幾近新液的狀態可再使用

適用：光電產業TMAH
1對1濃度管理+光阻去除系統(DVRC)
DC-PRSS

系統概要

  • 於本系統具濃度管理功能以2.38%新液替換；再以光阻去除膜將TMAH再生/使用
  • 光阻濃度幾近新液的狀態可再使用
  • 小型系統可設置於產線旁，方便管理
  • 方便擴充

適用：光電產業TMAH, 小型生產線
1對1光阻去除系統(C-PRSS)
C-PRSS

系統概要

  • 來自C/D混有光阻劑的TMAH於PRSS(膜分離)去除光阻回收再生
  • 光阻濃度幾近新液的狀態可再使用
  • 小型系統可設置於產線旁，方便管理
  • 方便擴充

適用：光電產業TMAH，小型產線的擴充